Brooks-instrument Mfi Series Uživatelský manuál stáhnout pdf (Strana 14)

1-6

Brooks

®

Mf Series

Section 1 Introduction

Installation and Operation Manual

X-TMF-Mfi-Mfx-MFC-eng

Part Number: 541B074AAG

August, 2009

Figure 1-4 Mf Series Typical Hookup to Brooks 0151i Power Supply

Figure 1-3 Terminal Strip Labeling

TB-1

ICMD

NC

GND

VCMD

CMDCOM

NC

VOR

VREF

VSUP+

SUPCOM

NC

SIGCOM

VSIG

TB-3

TB-2

ISIG

NC

VALVE

1 2 ... 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 ... 81 82

Komentáře k této Příručce

Žádné komentáře